产品特点： 

• 对于一般大气中晶圆(wafer)等带电电位衰減至1/10,於1S以內的短时间內除电。
• 与瓦斯的流动狀态无关,可获得安定的除电性能。由于被光照射到的空间內广范围地將瓦子化,因此,即使除电对象物附近存在不穩定的气流,也不影响除电性能。
• 平常完全不须维护,仅需依软X线管头的耐用期限(8000h)更换即可。
• 由于正负离子及电子平均分布于空间內,因此除电对象物的残留电位可定为0V。
• 由于光直接离子化,因此,在大气压下,在 N2、Ar等不活性瓦斯中也可除电。
• 由于是光照射之离子系统,因此,完全不发尘,电磁杂讯(noise)也几乎无发生。
• 依高能量光使得空气中的氧气分子也加速离子化,因此,几乎沒有产生臭氧(ozone)。
• 构成本系统的机器,仅有软X线管头及电力装置2項,在制造装置.搬运上易安裝。

除电原理： 

产品规格：